重大专项是实现我国中长期科技发展规划的一项重要内容，党中央、国务院高度重视重大专项的实施工作，多次召开专门会议研究部署。为此，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项领导小组成立了专项咨询委员会、专项总体专家组和专项实施管理办公室等机构，规范了实施管理办法。

　　据了解，该重大专项面向全国广泛征集项目，经过严格的筛选及“三评两审”立项程序，目前拟启动54个项目，其中装备整机15项、成套工艺11项、关键材料9项、关键技术与零部件11项、前瞻性研究等8项，总投资180多亿元。

　　科技部部长万钢指出，启动“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项是发挥科技支撑作用，促进经济平稳较快发展的重大行动，同时也是充分发挥科技的重要作用，体现“治本”要求的重要举措。

深科特集团